分子增压泵应该用实例

1．中科院近代物理研究所：重离子加速器大流量差分系统（2006年）

2006年，采用二台MB200B分子增压泵，成功取代当时最清洁的中真空机组： ZJ-600罗茨泵+液氮冷阱，世界上首次攻克重离子加速器大流量差分系统的油蒸汽污染难题，显著提高加速器的分析精度，节省设备费用5万元，节省抽气能耗90%，为我国加速器领域赶超国际先进水平作出了重要贡献。

该项成果在2007年STOCKHOLM第17届国际真空会议上发表后，获得了国际加速器专家的高度重视。

本项目获得2007年国家自然科学基金资助（项目批号：10675152）。

2．中科院等离子体物理研究所：人造小太阳试验装置（2007年）

MB200D分子增压泵用于人造小太阳试验装置。抽气流量、运行可靠性等主要技术指标明显超过该研究所在用的进口和国产分子泵和罗茨泵。

3．清华科技园：深圳市力合薄膜科技有限公司

采用二台MB200D分子增压泵，取代连续镀膜生产线进片系统的2台F-250分子泵+1台ZJ-1200罗茨泵+1台ZJ-300罗茨泵，取得了消除进片阶段油蒸汽污染，显著提高镀膜产品质量，设备费用降低5万元，节能80%，年节电8万度的优异成绩。

本项成果展示了分子增压泵在大型连续镀膜设备领域，取代罗茨泵和分子泵的广阔市场前景。

本项目获得2008年广东省产学研基金资助。

4．大型蒸发镀膜设备（深圳振恒昌实业）

采用4台MB200D分子增压泵（4,000L/s）用于取代大型蒸发镀膜设备2台K-800扩散泵（24,000L/s）+1台ZJ-1200罗茨泵（1,200L/s），取得了节省抽气能耗90%，年节电30万度/台，消除膜层泛黄和结合力差的现象，4个月节省的电费可收回增加设备费用的好成绩。

二台K-800扩散泵的总抽速已超过目前市场最大的KT-1000扩散泵。因此，本项成果已表明：大型扩散泵+罗茨泵机组退出历史舞台的日子已经指日可待。

本项目获得了2008年深圳市产学研基金资助。

5．恒基镀膜（深圳）有限公司（港资）

采用3台MB-200D分子增压泵取代磁控溅射镀膜设备的1台K-500扩散泵和1台ZJ-300罗茨泵，节省抽气能耗80%，每台炼炉节省电能8万度/年，1年节省的电费可收回改造费用。用于新设备改造，8个月节省的电费可收回增加的设备费。

6．浙江英洛华磁业有限公司

采用3台MB-200B分子增压泵取代1台KT-400扩散泵和1台ZJ-600罗茨泵，节省抽气能耗91%，每台熔炼炉（30kg）节省电能4.5万度/年，2年节省的电费可收回改造费用。用于新添设备，1年节省的电费可收回增加的设备费。

7．磁控溅射、阴极电弧镀膜设备（东莞××五金厂，港资）

采用3台MB-200D分子增压泵（3,000L/s）取代磁控溅射和阴极电弧镀膜设备的2台F-400分子泵（7,000L/s）和1台ZJ-300罗茨泵（300L/s），取得了节省设备费用4万元，节省抽气能耗60%，年节电3.5万度/台，消除粗抽阶段油蒸汽污染，并消除了分子泵易发生打片损坏的一大缺陷。